- 产 地北京 丰台区
- 品 牌CIF
- 型 号CIF-SEM
- 类 型真空等离子清洗机
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CIF扫描电镜等离子清洗机参数表
产品介绍
CIF 扫描电镜（SEM）等离子清洗机采用远程、原位双等离子清洗源设计，可自动切换清洗源，一机多用。远程等离子体清洗快速高效低轰击损伤，同时可实现常规等离子清洗功能。主要用于SEM或FIB等电镜腔体内碳氢化合物的清洗。
产品特点
双等离子清洗源
一机多用
低损伤
技术参数
产品型号 | CIF-SEM |
法兰接口 | KF40 |
工作气压 | 0.3-3Pa |
等离子电源 | 13.56MHz射频电源，射频功率5-100W可调，自动匹配器 |
气体控制 | 标配双路50毫升/分气体质量流量控制器（MFC），精确测量自动控制气体流量，不会受环境温度和压力变化影响 |
气源选择 | 根据需求可选择氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源 |
真空控制 | 美国MKS公司925-12010皮拉尼真空计，测量范围1E-5Torr |
真空保证 | 真空计和电磁阀安全互锁 |
操控方式 | 7寸全彩触摸屏控制，中英文互动操作界面 |
电源/功率 | 220V，50/60Hz，300W |
可选配件 | 可选氧气、氮气、氢气发生器， 氢气纯度﹥99.999％，输出流量0-300ml/min |
质量保证 | 二年质保，终身维护 |
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